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     CVD系統(tǒng)


    產(chǎn)品簡介

     常規(guī)CVD系統(tǒng)由管式爐、流量混合器、真空體統(tǒng)三部分組成。改系統(tǒng)可以滿足絕大部分氣氛或真空環(huán)境下的小樣品試驗。每個部分都可以單獨匹配成不同部件以滿足不同的實驗條件，如流量計可以選擇浮子流量計或質(zhì)量流量計，單通道或多通道，管式爐可以選擇1200℃/1500℃/1700℃單溫區(qū)或者多溫區(qū)爐子。

     

    主要參數(shù)

    型號

    QJ1200-CVD60

    QJ1700-CVD60

    工作溫度

    ≤1100℃

    ≤1600℃

    升溫速率

    10℃/min

    10℃/min

    氣體預(yù)熱區(qū)

    無

    200mm

    加熱區(qū)長度

    200/440mm

    200/300mm

    恒溫區(qū)長度

    100/220mm

    50/100mm

    管徑

    50/6/80/100mm

    50/60/80mm

    控溫方式

    30段PID程序控溫

    30段PID程序控溫

    真空泵

    機械泵/分子泵

    機械泵/分子泵

    真空度

    ≤10-3Pa

    ≤10-3Pa

    進氣種類

    1~4種

    1~4種